密封面的平整度通常通過(guò)光波的交叉參考效應(yīng)來(lái)測(cè)量。它可以用高質(zhì)量的激光干燥儀器或光學(xué)平板晶體進(jìn)行測(cè)量。前者屬于非接觸測(cè)量方法，后者屬于接觸測(cè)量方法。光學(xué)平板晶體因其供應(yīng)充足、價(jià)格低廉而得到廣泛應(yīng)用。

下面介紹使用光學(xué)平板產(chǎn)品檢測(cè)平面度的基本原理

1、 平面晶體

折射率為516.6的玻璃由晶體或平板玻璃制成。根據(jù)直徑，有六種類型：60、80、100、150、200和250mm。扁平晶體的尺寸不太大，因?yàn)樗茈y制造。其精度為1級(jí)和2級(jí)；工作表面的平整度非常高，其偏差不超過(guò)0.03um和0.1um。一般選用一級(jí)扁晶測(cè)量?jī)?nèi)密封圈端面的平整度，扁晶直徑應(yīng)大于被測(cè)工件的外徑。如果密封圈的外徑超過(guò)250mm，或密封圈由非金屬材料制成（反射性差），可采用涂漆方法進(jìn)行檢查，即測(cè)量表面涂有紅丹，且密封圈必須連接在零級(jí)平板上。不得連接環(huán)的接觸痕跡。如果觸摸連接面積大于總面積的80%，則為合格。

2、 光源

由于單色光源產(chǎn)生相對(duì)清晰的干度和圖形，因此通常通過(guò)光波干度和測(cè)量方法選擇單色光源作為光源。太陽(yáng)發(fā)出的白光實(shí)際上由七種顏色組成，每種顏色代表不同波長(zhǎng)的電磁波。當(dāng)白光通過(guò)平板晶體發(fā)射到被測(cè)表面以產(chǎn)生光波相干性時(shí)，在被測(cè)表面的不同方向上會(huì)顯示幾種不同顏色的相關(guān)條紋。由于各種顏色的光線混合在一起，相干性和條紋的亮度和清晰度大大減弱，因此畫面不清晰。使用單色光源，它只有一個(gè)波長(zhǎng)。這幅畫是明暗相間的亮帶。這很清楚。你可以看到更多的干帶和暗帶，讀數(shù)更準(zhǔn)確。單色光需要單色光源，如鈉燈；自然光也可以通過(guò)濾色器獲得。