平整度(也稱平直度)是機(jī)械密封圈的一項(xiàng)重要質(zhì)量指標(biāo),要求在0.0009mm以內(nèi)。這樣的數(shù)量級不能用普通測量工具測量。準(zhǔn)確而快速的方法是光學(xué)干涉法。它需要一個光學(xué)平面晶體和單色光源,通常是鈉光。檢查時,將平板晶體放在待檢查的機(jī)械密封端面上,并在上斜面用鈉燈照射(圖15),檢查干涉條紋的數(shù)量。
鈉光的波長為0.6μm。每個干涉條紋為半個波長,即一個干涉條紋為0.3μm。機(jī)械密封面的平整度可通過干涉條紋的數(shù)量來確定。